UJI KEBOCARAN PADA PRODUKSI SEMIKONDUKTOR DALAM WAKTU REKOR

Köln, 1 September 2021 --- Dengan UL6000 Fab, INFICON GmbH yang berbasis di Köln, salah satu produsen perangkat uji kebocoran dan alat terkemuka di dunia, telah meluncurkan generasi terbaru detektor kebocoran bergerak untuk garis produksi berkapasitas besar di industri semikonduktor. INFICON mengembangkan perangkat portabel ini untuk digunakan dalam produksi chip semikonduktor dan garis produksi sel surya, tampilan panel datar, pelapisan kaca dan plastik, serta sistem vakum pada umumnya. Seperti pendahulunya, UL5000, perangkat baru ini juga menggunakan metode vakum dengan helium sebagai gas penelusur. Pompa turbomolekuler penguat unik UL6000 Fab bergerak helium dengan lebih dari 36 liter per detik. Kecepatan pemompaan helium yang sangat tinggi ini membuat perangkat sangat responsif dengan waktu naik dan penurunan sinyal yang sangat singkat. Pompa akar berkinerja tinggi dengan kapasitas pemompaan udara 36 m³ per jam bertindak sebagai pompa kasar untuk evakuasi besar. Sensitivitas UL6000 Fab juga luar biasa: perangkat ini akan mendeteksi kebocoran paling kecil hingga 5 × 10?¹² mbar·l/s dengan sangat andal. Semua ini membuat UL6000 Fab menjadi sistem pengujian kebocoran paling cepat dan sensitif di pasaran. Bagi produsen semikonduktor, perangkat deteksi kebocoran baru ini segera memberikan pengembalian investasi dengan mempersingkat waktu henti peralatan yang berharga per penggunaan.

Teknologi pompa inovatif

Pompa turbomolekuler penguat UL6000 Fab yang inovatif menggabungkan kecepatan dengan presisi. Ia memompa helium dengan 36 liter per detik dan memastikan waktu respons minimal dan pembersihan instan gas penelusur helium. Perangkat ini menggunakan pompa akar sebagai pompa kasar, sehingga memastikan waktu evakuasi minimal dengan kecepatan pemompaan udara maksimal 36 m³/jam. Ini mempertahankan kecepatan pemompaan udara tertinggi dalam rentang tekanan yang luas, terutama tekanan vakum kasar, sesuatu yang hanya dapat dilakukan oleh roots pump lain pada tekanan optimal mereka. Ini memberikan keuntungan kecepatan beberapa menit per tes, terutama untuk alat produksi yang lebih besar dengan volume antara 50 hingga 1.000 liter atau lebih. Dirancang khusus untuk INFICON, roots pump ini juga sangat rendah perawatannya, memiliki umur layanan yang sangat panjang, dan dapat menahan beban uap yang tinggi. UL6000 Fab dilengkapi dengan sambungan untuk bellow sambungan DN63, sehingga memungkinkan kecepatan pemompaan helium efektif maksimal diterapkan pada barang uji dengan sangat terbatas. Ini juga meningkatkan kekuatan sinyal tingkat kebocoran, respons sinyal, dan penurunan sinyal juga dipercepat. Adapter DN40 memastikan diameter lebih kecil juga dapat diatasi seperti biasa, meskipun dengan pengurangan kecil dalam kecepatan pemompaan helium.

Mudah digunakan berkat fungsi cerdas

UL6000 Fab yang baru dikembangkan mengadopsi konsep operasi dan desain yang sudah mapan dari saudara kecilnya, UL3000 Fab (ULTRA), yang dirancang untuk pengujian volume yang lebih kecil. UL6000 Fab yang baru menawarkan berbagai fungsi cerdas yang membantu operator dalam penggunaannya. Misalnya, I·CAL adalah algoritma perangkat lunak yang menghemat waktu, yang menyaring komponen noise dari sinyal sambil juga mendeteksi amplitudo sinyal terkecil. I·ZERO 2.0 adalah fungsi titik nol yang menekan latar belakang helium dalam barang uji tanpa mempengaruhi ketepatan dan kehandalan tes. Teknologi Mode MASSIVE eksklusif INFICON memungkinkan kebocoran kasar diidentifikasi dengan sangat cepat, bahkan jika tekanan tidak turun di bawah tekanan atmosfer atau jauh di bawah tekanan atmosfer karena kebocoran kasar saat memompa keluar. Fungsi HYDRO·S menghilangkan komponen hidrogen sinyal yang disebabkan oleh air atau kelembaban di dalam barang uji. Fitur I·CHECK mengukur konsentrasi latar belakang helium di udara sekitar untuk memastikan kondisi pengukuran yang optimal. Semua fungsi ini membantu menjadikan UL6000 Fab yang baru dikembangkan sebagai detektor kebocoran tercepat di pasaran.

Informasi lebih lanjut tersedia di https://www.inficon.com/ul6000